“气浮垂”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1016919个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法-CN201510409194.5有效
发明人：刘杨;李理;付振宪 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-13 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置及垂向气压补偿方法，属于全物理仿真领域，本发明为解决现有多自由度气浮平台的垂向气压补偿装置需要多个比例的电磁阀，结构复杂，垂向气压补偿方法控制精度较低的问题。本发明的气浮轴包括气浮轴承外套和气浮轴承内套，气浮轴承内套安装在气浮轴承外套中空气腔里，气浮轴承内套沿气浮轴承外套内侧壁作垂向运动；气浮轴承内套上端连接在气浮平台上；气浮轴承外套内侧壁上安装有多个喷嘴；气浮轴承外套内侧壁上设置有测量中空气腔压力的压力传感器；喷嘴和压力传感器位于气浮轴承内套与气浮轴承外套下端之间；气浮轴承外套内部沿垂向设置有测量气浮轴承内套垂向位移的光栅尺；本发明用于全物理仿真试验。
自由度平台气压补偿装置方法

[发明专利]基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构-CN201410277199.2有效
发明人：刘杨;李宗哲;陈兴林;强盛;刘启循;李欣;陈震宇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题，所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成，垂向运动机构旁安置有基准压力腔，绝对压力传感器安置于基准压力腔内，垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成，垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔，相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式，具有较高的测量精度，可达到较为良好的实验效果。
基于差动测量高精度气浮垂调节机构

[发明专利]一种可垂直运动的精密气浮转台-CN202111503298.4在审
发明人：龚林;王斌;牛增渊;丁辉 -专利权人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种可垂直运动的精密气浮转台，包括有垂向运动模块以及设置在所述垂向运动模块上的气浮转台，所述垂直运动模块与气浮转台同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承以及设置在所述气道轴承中部的电机组件；所述垂直运动模块包括有丝杠、套设在丝杠上的丝杠套以及带动丝杠套旋转的第二电机；所述第二电机带动丝杠套旋转，丝杠将丝杠套的旋转运动转化为垂直运动，并带动所述气浮转台做垂直运动；将第一电机设置在气浮转台的中部，可以增大气浮转台的气浮面，增加了气浮转台的承载力和刚度，从而进一步提升了气浮转台的精度；在所述气浮转台的下面设置垂直运动模块，气浮转台可以进行垂向运动。
一种垂直运动精密转台

[发明专利]一种气浮垂向运动装置-CN202110262175.X在审
发明人：陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B25H3/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本发明的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。
一种气浮垂运动装置

[实用新型]一种气浮垂向运动装置-CN202120507243.X有效
发明人：陈啸虎;江旭初;吴火亮;袁嘉欣;唐艳文;董亚聪 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B25H3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气浮垂向运动装置，包括托盘、电机、气浮轴以及套设于气浮轴的气浮套，气浮轴连接于托盘，气浮轴与气浮套形成气浮导轨，电机设置于气浮轴内，电机的输出端连接于气浮轴，电机驱动气浮轴带动托盘沿气浮导轨的轴线方向移动气浮轴的外壁与气浮套的内壁之间的间隙配合形成一层稳定的气膜，从而形成了气浮导轨，气浮导轨对气浮轴垂向运动起到导向作用。本实用新型的电机设置在气浮轴内，结构紧凑，减小了整个装置的结构，减小了装置占用空间的大小。再将电机的输出端连接于气浮轴，通过电机驱动气浮轴使气浮轴和托盘沿气浮导轨的轴线方向移动。
一种气浮垂运动装置

[发明专利]一种基板交接装置及交接方法-CN201510859991.3有效
发明人：阮冬 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板交接装置及交接方法，该装置包括气浮台和工作台，气浮台包括：固定气浮单元和升降气浮单元，固定气浮单元包括第一底座、第一水平向驱动轴、固定气浮块、真空吸盘及吸盘升降气缸；升降气浮单元设置于固定气浮单元与工作台之间，包括升降气浮块和第一垂向驱动轴；工作台包括：第二底座、第二水平向驱动轴、第二垂向驱动轴、工作平台及缓冲器。本发明通过增加升降气浮单元，增加了工作台的机械缓冲行程；工作台运动失控时，可利用缓冲器阻止失控运动，工作台距离固定气浮块仍存在一定距离，避免碰撞事故；利用第二垂向驱动轴控制工作平台的升降，确保基板传送过程中，始终从高气浮面向低气浮面运动，提高安全性。
一种交接装置方法

[发明专利]一种具有工位切换功能的掩模台-CN201210118780.0有效
发明人：江旭初;周清华;王鑫鑫;徐涛 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-04-20 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有工位切换功能的掩模台，包括：承版台、气浮板、工位切换机构、气浮结构、水平向微调机构和垂向调节机构，所述承版台通过气浮结构固定于气浮板上方，用于承载具有一个或多个图形的掩模版，所述工位切换机构用于驱动承版台移动将掩模版上的图形切换到不同工位；所述水平向微调机构用于驱动气浮板在水平方向移动以实现掩模版水平方向的微调；所述垂向调节机构用于调节掩模版的垂向高度。本发明通过对承版台气浮结构真空、正压的切换以及承版台和导轨之间的柔性解耦机构的垂向解耦作用，解决了工位切换机构在垂向的精度耦合问题，不仅降低了工位切换机构的装配难度，而且提高了切换前后掩模图形区高度位置精度
一种具有切换功能掩模台

[发明专利]可切换工位的六自由度精密定位台-CN200810038759.3有效
发明人：李生强;李志龙;张锋 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2008-06-10 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种可切换工位的六自由度精密定位台，所述精密定位台包括吸版台、气浮板、水平向微调机构、底座和垂向调节机构，所述吸版台通过一工位切换机构安装在气浮板的上方，用于承载掩模版，所述水平向微调机构和气浮板连接，用于驱动气浮板在水平方向上移动，所述气浮板下方连接底座，所述垂向调节机构安装在所述底座下方。本发明的精密定位台具有工位切换功能、水平向微调功能和垂向调节功能，可实现六自由度精密调节和定位，并可满足更多工作位置的要求。
切换自由度精密定位

[发明专利]集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备-CN202310143319.9在审
发明人：赵宝君;田世伟;赵宏亮;李建辉;李志龙 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种集成电路制造设备的工作台及集成电路制造设备，所述侧向气浮组件和所述垂向气浮组件均安装于所述连接组件，在所述X向气浮导轨上设置有在X方向上延伸到的第一气浮部，在所述基座上设置有在X方向上延伸的第二气浮部，侧向气浮组件与所述第一气浮部配合，所述垂向气浮组件与所述第二气浮部配合，所述第一X向直线电机的定子固定于所述X向气浮导轨，所述第一X向直线电机的动子固定于所述连接组件，所述第二定位模块安装于所述Y向气浮导轨。
集成电路制造设备工作台

[发明专利]一种气浮支撑的旋转台-CN201010022989.8有效
发明人：周清华 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2010-01-19 - 公布日： 2011-07-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明揭露了一种气浮支撑的旋转台，所述旋转台包括工作台、基板、垂向气浮支撑机构、旋转中心定位机构及驱动机构。所述垂向气浮支撑机构将工作台支撑在基板上。本发明提供的旋转台中间环节少，响应速度快，定位精度高，同时所述垂向气浮支撑机构可以消除类似滚轮之类的导向机构的非线性误差，进一步提高系统定位精度。
一种支撑旋转

[发明专利]一种双气浮大型基板传输装置-CN201310738321.7在审
发明人：吴福龙;周畅;阮冬 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种双气浮大型基板传输装置，包括：一气浮框架，所述气浮框架位于一机架上，并可相对机架上升和下降运动，所述气浮框架上设有结构相同的第一气浮单元和第二气浮单元，所述第一气浮单元位于所述第二气浮单元的垂直上方，所述第一、第二气浮单元分别包括安装在气浮框架上的气浮块，以及位于所述气浮块上的垂向传输模块。
一种双气浮大型传输装置

[实用新型]长行程运动气浮模组及应用其的曝光台-CN201120570758.0有效
发明人：徐涛;江旭初;李生强;王鑫鑫;张凤磊;曹若愚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-12-30 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长行程运动气浮模组及应用其的曝光台。长行程运动气浮模组包括侧向球铰式气浮垫、侧向自适应球铰式气浮垫以及垂向球铰式气浮垫。侧向球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第一侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能。侧向自适应球铰式气浮垫一端具有球铰，连接U型导轨的第二侧边，另一端具有气浮垫，连接基座。侧向自适应球铰式气浮垫具有Ry与Rz向旋转解耦功能且能够沿X向作微小位移补偿。垂向球铰式气浮垫一端连接U型导轨的端面，另一端具有气浮垫，连接基座。本实用新型可大大降低导向零件的设计复杂度、加工制造难度以及装配精度。
行程运动模组应用曝光

[发明专利]一种真空排水系统中的无源控制方法-CN201711371001.7有效
发明人：刘宇奇;杨桂华;赵海龙;王建鹏 -专利权人：湖南真创环保科技有限公司
申请日： 2017-12-19 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： F16K31/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空排水系统中的无源控制方法，其是在污水收集箱体内部设置一个浮球，在污水收集箱体顶部上设置一个杠杆机构，在杠杆机构中杠杆的两端上分别设置垂向连杆一和垂向连杆二，其中将垂向连杆一的一端伸入到污水收集箱体中与浮球连接，将垂向连杆二的一端与真空排水系统中真空排泄阀的控制气路开关配合连接；随着污水收集箱体内部水位的上升或下降，使得浮球随着液面上下移动，带动垂向连杆二上下移动，通过垂向连杆二的上下移动带动控制气路开关动作，对真空排泄阀的控制气路通、断状态进行控制，从而控制真空排泄阀的开启或关闭。
一种真空排水系统中的无源控制方法

[发明专利]差动式气浮垂向控制的双超卫星平台地面仿真设备-CN201910075425.1有效
发明人：马伟;赵艳彬;廖鹤;徐毅;谢进进;赵强 -专利权人：上海卫星工程研究所
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于差动式气浮垂向控制的双超卫星平台地面仿真设备属于航天器物理仿真领域，通过气浮球轴承实现转动平台的Rx、Ry和Rz自由度转动，通过平面气浮轴承实现载荷舱气浮平台和平台舱气浮平台的X和Y自由度运动，支撑立柱通过设置在支撑立柱上的节流孔与水平移动平台供气组成气浮结构，实现支撑立柱的气悬浮支撑、竖直导向和竖直向上的压力控制驱动；通过气浮导向止推板设置的节流孔，实现对支撑立柱的竖直导向和竖直向下的压力控制驱动，进而实现对支撑立柱的差动式气浮垂向运动控制，具有六自由度非接触支撑驱动、稳定性高和响应快等优点，可用于双超卫星平台的姿态模拟、大摆角机动特性和动中成像地面验证等方面。
差动式气浮垂控制卫星平台地面仿真设备

[发明专利]三轴气浮转台台面加载荷后自动调整质心的装置及方法-CN201010249466.7无效
发明人：雪芹;王峰;曹喜滨;耿云海;董晓光;叶东 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2010-08-10 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： G01M1/12 文献下载
摘要：三轴气浮转台台面加载荷后自动调整质心的装置及方法，涉及一种三轴气浮转台台面加载荷后调整质心的装置及方法。它解决了现有的采用手动方式调整三轴气浮转台台面加载荷后质心调整难度大、效率低、精确度低的问题。其装置：气浮转台台面边缘均布四个质量调整装置，与台面中心为原点，逆铅垂方向固定一个质量调整装置，其中每个质量调整支架上开有导轨，导轨一端固定的步进电机带动质量块沿导轨滑行，电子水平仪的信号输出端与控制模块的信号输入端连接其方法：包括水平质心调整和铅垂质心调整。本发明适用于三轴气浮转台台面外加载荷后质心调整。
三轴气浮转台台面载荷自动调整质心装置方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条